微振動計測システム VAS
半導体、液晶の製造工程は微細化が進んでおり、現場における振動環境の保全が重要な要素となっています。
製造現場における振動環境を把握することにより、設備・製造装置の適切な防振設計を可能にし、トータルなコスト削減が可能となります。
特長
- 各チャンネル独立型ΔΣ型24ビットADコンバータによる幅広いダイナミックレンジ
- サーボ型加速度センサーにより、10Hz以下も高精度で測定可能
- 機器接続は現場での使用考慮し丈夫で接続の簡単なUSBインターフェースを採用
- 測定データはリアルタイムでトリパタイトグラフ1/3オクターブグラフ等でモニター可能
- 各種使用環境を考慮しAC100-240VDC, NI-MH充電池の3電源に対応
